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面向新世紀(jì)迅速發(fā)展的精密測(cè)量技術(shù)

2012-11-29

由于受到長(zhǎng)期經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)呆滯的影響,自1998年以來(lái),精密測(cè)量?jī)x器的需求一直處于不景氣狀態(tài)。測(cè)量?jī)x器是一個(gè)深受機(jī)床和汽車(chē)工業(yè)動(dòng)向影響的行業(yè)。以日本的情況為例,1999年日本機(jī)床的訂貨回升,對(duì)精密測(cè)量?jī)x器的需求從1999年下半年起也隨之增長(zhǎng),如卡尺、千分尺等的產(chǎn)量均有所回升。當(dāng)然,1999年由于產(chǎn)品單件價(jià)格下滑等因素,測(cè)量?jī)x器行業(yè)總的形勢(shì)仍有兩位數(shù)字的下降幅度。

進(jìn)入2000年以后,盡管增長(zhǎng)緩慢,但從年初開(kāi)始,連續(xù)9個(gè)月精密測(cè)量?jī)x器的產(chǎn)值均呈正值增長(zhǎng)。其中,傳統(tǒng)型號(hào)的產(chǎn)品仍占市場(chǎng)的主流,但在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、粗糙度測(cè)量?jī)x、圓度測(cè)量?jī)x等方面,則對(duì)高精度產(chǎn)品需求的增長(zhǎng)十分突出。預(yù)計(jì),今后對(duì)那些面向質(zhì)量管理的測(cè)量輔助系統(tǒng)及裝置需求將有更大的增長(zhǎng)。

必須注意的是,客戶所要求的測(cè)量精度已由微米級(jí)向納米級(jí)提升,而且這種提升的趨勢(shì)一年比一年迅猛。如果不能適應(yīng)此種需求去開(kāi)發(fā)產(chǎn)品,則將難以擴(kuò)大精密測(cè)量?jī)x器的市場(chǎng)規(guī)模。當(dāng)前,尤其是與半導(dǎo)體相關(guān)的領(lǐng)域,測(cè)量技術(shù)不敷應(yīng)用的狀況亟待改善。

據(jù)日本有關(guān)的調(diào)查顯示,各測(cè)量?jī)x器相關(guān)企業(yè)2000年的產(chǎn)值(以1998年度為100進(jìn)行比較計(jì)算)將有兩位數(shù)字的增長(zhǎng),增長(zhǎng)幅度可望達(dá)到10%~30%。其中,BLOM-LMT公司的產(chǎn)值增長(zhǎng)幅度估計(jì)將達(dá)80%,SOL公司的產(chǎn)值可增長(zhǎng)90%。這些企業(yè)大都經(jīng)營(yíng)國(guó)外測(cè)量機(jī)產(chǎn)品,他們的增長(zhǎng)幅度明顯高于日本國(guó)內(nèi)企業(yè)。日本測(cè)量?jī)x器企業(yè)中,以東京精密公司的增長(zhǎng)幅度最高,估計(jì)2000年將增長(zhǎng)60%,銷(xiāo)售的產(chǎn)品中,70%以上為半導(dǎo)體制造行業(yè)所需的測(cè)量?jī)x器。

隨著非接觸、高效率測(cè)量機(jī)的大量出現(xiàn),專家們預(yù)計(jì),21世紀(jì)測(cè)量技術(shù)的發(fā)展方向大致如下:

測(cè)量精度由μm級(jí)向nm級(jí)發(fā)展,進(jìn)一步提高測(cè)量分辨率;

由點(diǎn)測(cè)量向面測(cè)量過(guò)渡,提高整體測(cè)量精度(即由長(zhǎng)度的精密測(cè)量擴(kuò)展至形狀的精密測(cè)量);

隨著圖像處理等新技術(shù)的應(yīng)用,遙感技術(shù)在精密測(cè)量工程中將得到推廣和普及;

隨著標(biāo)準(zhǔn)化體制的確立和測(cè)量不確定度的數(shù)值化,將有效提高測(cè)量的可靠性。

總之,測(cè)量技術(shù)必須實(shí)現(xiàn)高精度化,同時(shí)也要求實(shí)現(xiàn)高速化和高效率化,因此,非接觸測(cè)量和高效率測(cè)量也就必然成為新世紀(jì)精密測(cè)量技術(shù)的重要發(fā)展方向。

在通常情況下,作為生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)使用的測(cè)量機(jī)具,必須保證在整個(gè)測(cè)量過(guò)程中具有良好的操作性能,而且必須力求節(jié)省所占用的空間。如三豐公司開(kāi)發(fā)出一種柔性測(cè)量裝置QM-Measure,這是專門(mén)為在加工現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量復(fù)雜形狀而研制的袖珍型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),特點(diǎn)是操作簡(jiǎn)便,價(jià)格低廉。西鐵城公司開(kāi)發(fā)出一種電動(dòng)測(cè)微儀用的小型上置式DTM-C系列,實(shí)現(xiàn)了生產(chǎn)設(shè)備機(jī)械小型化和高精度化,進(jìn)深達(dá)7cm,而體積卻減小了2/3,非常便于安裝在其他生產(chǎn)設(shè)備上使用,該裝置的最小分辨率為0.1μm。

綜觀當(dāng)前精密測(cè)量技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r,有如下一些特點(diǎn):普遍追求高速、高精度、系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化;為了便于在線測(cè)量,各公司正在大力開(kāi)發(fā)小型化的精密測(cè)量裝置;為了增強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)能力,生產(chǎn)廠家均在努力加強(qiáng)質(zhì)量管理,降低生產(chǎn)成本。隨著全球IT產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,精密測(cè)量領(lǐng)域也不斷開(kāi)發(fā)出適應(yīng)IT特點(diǎn)的測(cè)量機(jī)產(chǎn)品。可以預(yù)計(jì),面對(duì)新世紀(jì)的需求,精密測(cè)量技術(shù)將進(jìn)一步集約化,產(chǎn)品結(jié)構(gòu)更為緊湊,操作性能進(jìn)一步提高,自動(dòng)化水平也必將提升到新的檔次。當(dāng)然,各廠家高性能產(chǎn)品之間的競(jìng)爭(zhēng)也必然更加激烈,誰(shuí)搶先擁有高精尖的測(cè)量技術(shù),擁有先進(jìn)的管理系統(tǒng),誰(shuí)就將在競(jìng)爭(zhēng)中穩(wěn)操勝券。熱像儀 http://vntnorcwa.cn/

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