捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
名稱：其他儀器與工具
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簡介：冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡,JSM-7500F,捷歐路JEOL
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- 產(chǎn)品介紹
捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡配備了冷場發(fā)射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡，配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束）能夠達到極高的分辨率。通過與GB模式組合，即使是用幾百電子伏的入射電子束也能獲得很高的分辨率，是非常適合觀察樣品淺表面的裝置之一。此外，JSM-7500F還可以選配用于元素分析等的各種附件。捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡的電子光學系統(tǒng)將場發(fā)射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡組合為一體，冷場發(fā)射電子槍在低加速電壓下也能夠?qū)㈦娮邮劢沟煤芗?，與通用型掃描電鏡一樣，對大樣品也可以進行高分辨率的觀察。
捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡通過給樣品加以偏壓并照射電子束，利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 （柔和光束），以幾百電子伏的入射電子對樣品的淺表面進行高分辨率觀察，這是迄今為止未能實現(xiàn)的。新型 r-過濾器有標準SB（二次電子檢測）模式、標準BE模式（背散射電子檢測）、Sb模式（二次電子為主）和Bs模式（背散射電子為主）四種模式。Sb模式能檢測混有任意比例背散射電子的二次電子，Bs模式能檢測混有任意比例二次電子的背散射電子，這些功能在簡明易懂的菜單上都可一鍵操作完成。
| 電子槍 | 冷場發(fā)射 |
| 物鏡 | semi-in-lens物鏡 |
| 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV |
| 加速電壓 | 0.1～30kV |
| 束流 | 1pA ～ 2nA |
| 自動光闌角最佳控制透鏡 | 內(nèi)置 |
| 倍率 | x 25 ～ x 1,000,000 |
| 檢測器 |
高位檢測器（SED） 低位檢測器（LED） |
| 能量過濾器 | r-能量過濾器 |
| Gentle Beam模式 | 內(nèi)置 |
| 樣品交換室 |
內(nèi)置（具有干燥氮氣導入功能） 氣鎖式、可交換的最大樣品：φ100mm×40mmH |
| 樣品臺 | 5軸馬達驅(qū)動、全對中測角樣品臺 |
| 樣品移動范圍 | X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，傾斜:-5～70°, 旋轉: 360° |
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