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布魯克Bruker D8 FABLINE X射線多晶衍射儀
名稱：其他儀器與工具
品牌：
型號(hào)：
簡(jiǎn)介：隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，半導(dǎo)體功能元件和化合物－半導(dǎo)體器件在尺寸和厚度上也不斷縮
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- 產(chǎn)品介紹
隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，半導(dǎo)體功能元件和化合物－半導(dǎo)體器件在尺寸和厚度上也不斷縮小。另外，器件的結(jié)構(gòu)變得越來(lái)越復(fù)雜，加工過(guò)程也變得越來(lái)越昂貴。因此，對(duì)各種分析測(cè)試手段（如 X 射線衍射）的可靠性、過(guò)程加工工藝的研制以及對(duì)在線質(zhì)量控制的要求也不斷提高。X射線衍射是一種可以進(jìn)行納米尺度探測(cè)的無(wú)損檢測(cè)方法，它能夠在無(wú)任何參照的情況下提供各種重要的材料參數(shù)。經(jīng)過(guò)多年在科學(xué)研究和工藝研制過(guò)程中的應(yīng)用之后，X射線衍射這種方法的準(zhǔn)確性和可靠性已被世人所認(rèn)可并接受。很多時(shí)候，只需對(duì)樣品進(jìn)行快速 X 射線衍射測(cè)量，就可以得到許多重要的樣品參數(shù)，比如：膜厚、粗糙度、密度、化學(xué)成分、孔隙度、點(diǎn)陣常數(shù)、梯度、失配度、松弛度、擇優(yōu)取向、織構(gòu)、應(yīng)力和應(yīng)變等，這些參數(shù)的得到都需要局部分辨率降到10平方微米級(jí)別。
將布魯克Bruker D8 FABLINE X射線多晶衍射儀引入超凈室的同時(shí)，也使得用于科學(xué)研究和工藝研制的D8 DISCOVER系列所具備的分析靈活性和可靠性能夠完全轉(zhuǎn)換到嚴(yán)格的超凈室環(huán)境中。應(yīng)用于超凈室的布魯克Bruker D8 FABLINE X射線多晶衍射儀的特色是可以用機(jī)械手裝載直徑達(dá)300毫米的芯片樣品，并且可以裝配兩個(gè)FOUP端口以便在質(zhì)量控制中進(jìn)行常規(guī)分析。測(cè)量和數(shù)據(jù)分析的過(guò)程是完全自動(dòng)化的，并且在必要的情況下布魯克AXS還可以提供全方位的服務(wù)并針對(duì)要求對(duì)分析過(guò)程進(jìn)行校準(zhǔn)。此外，可以根據(jù)用戶的要求對(duì)SEC/GEM界面進(jìn)行組合，也可以將圖譜識(shí)別或條碼讀取能力一體化。布魯克Bruker D8 FABLINE X射線多晶衍射儀是專為半導(dǎo)體行業(yè)要求而設(shè)計(jì)的分析儀器。
布魯克Bruker D8 FABLINE X射線多晶衍射儀是適用于半導(dǎo)體行業(yè)的全自動(dòng)X射線計(jì)量工具，還可以用于生產(chǎn)線和包裝的前端和后端流程。不論是用于研發(fā)還是生產(chǎn)質(zhì)量控制，布魯克Bruker D8 FABLINE X射線多晶衍射儀都能對(duì)空白或結(jié)構(gòu)晶片提供快速、無(wú)損、高精確的薄膜分析。布魯克Bruker D8 FABLINE X射線多晶衍射儀專門針對(duì)您的應(yīng)用和需求量身定制。在HRXRD配置中，布魯克Bruker D8 FABLINE X射線多晶衍射儀提供外延層的厚度、成分和應(yīng)變分析。布魯克Bruker D8 FABLINE X射線多晶衍射儀具備XRR模式，可測(cè)定多個(gè)薄層的厚度、密度和粗糙度。配備的µ-XRF模塊可用于分析金屬膜堆的成分和厚度分析。幾種應(yīng)用還可以合并起來(lái)。
如果您需要布魯克Bruker D8 FABLINE X射線多晶衍射儀及布魯克品牌儀器、或者其他品牌儀器，均可聯(lián)絡(luò)我司銷售部門：0731-84284278 84284378。
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