布魯克Bruker S8 FABLINE-T 監(jiān)測表面分析儀解決方案通過TXRF(全反射X射線熒光分析)監(jiān)測晶圓表面上的痕量金屬污染物。布魯克Bruker S8 FABLINE-T 監(jiān)測表面分析儀是一種快速、無損的表面敏感技術,無需使用液體。
布魯克Bruker S8 FABLINE-T 監(jiān)測表面分析儀具備完整映射功能,可實現(xiàn)0毫米邊緣排除測量。布魯克Bruker S8 FABLINE-T 監(jiān)測表面分析儀包含多個用于最優(yōu)化激發(fā)輕元素、中等元素和重元素的X射線源 。直觀的用戶界面(PTO)可確保工具實現(xiàn)故障保護性運作。全自動晶圓傳送裝置可接受300至450毫米的晶圓。此外,系統(tǒng)符合SEMI S2、S8和CE標準。
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