涂層測厚儀的測量方法主要有:楔切法,光截法,電解法,厚度差測量法,稱重法,X射線熒光法,β射線反向散射法,電容法、磁性測量法及渦流測量法等等。這些方法中前五種測量方法均為有損檢測,且測量手段復雜,測算結(jié)果速度慢等缺點,目前多在抽檢活動中使用。
X射線和β射線法是無接觸無損測量,且裝置復雜昂貴,測量范圍較小。同時這類測量方式帶有放射源,使用者必須遵守射線防護規(guī)范。在測量厚度上X射線法可測極薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量,電容法僅在薄導電體的絕緣覆層測厚時采用。
隨著技術(shù)的日益進步,特別是近年來計算機技術(shù)的引入,磁性法和渦流法測量的涂層測厚儀向微型、智能、多功能、高精度、實用化的方向邁進了一步。測量精度有了大幅度的提高,分辨率達到0.1微米,精度達到1%。它適用范圍廣,量程寬、操作簡便且價廉,是工業(yè)和科研使用最廣泛的測厚儀器。
采用無損方法既不破壞覆層也不破壞基材,檢測速度快,能使大量的檢測工作經(jīng)濟地進行,這些優(yōu)點使得具有無損特性的
涂層測厚儀得到廣大企業(yè)的熱烈追捧。