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多角度激光橢偏儀 SE 400adv PV
名稱：涂鍍層測厚儀
品牌：
型號(hào)：
簡介：SE 400adv PV 隨機(jī)攜帶適用于絨面多晶硅和單晶硅的樣品臺(tái)，特別適用于晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，激光橢偏儀SE 400adv PV 多角度激光橢偏儀SE 400adv-PV能夠測量薄膜厚度及其光學(xué)常數(shù)，使用632.8nm波長...
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- 產(chǎn)品介紹
SE 400adv PV 隨機(jī)攜帶適用于絨面多晶硅和單晶硅的樣品臺(tái)，特別適用于晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，激光橢偏儀SE 400adv PV
多角度激光橢偏儀SE 400adv-PV能夠測量薄膜厚度及其光學(xué)常數(shù)，使用632.8nm波長氦氖激光器，具有極高的精確度和準(zhǔn)確度。SE 400adv-PV專門針對(duì)晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，具有業(yè)內(nèi)最高的精度和穩(wěn)定性。SE 400adv-PV的功能基于橢圓偏振光原理，一種使用激光偏振光的非接觸光學(xué)反射測量方式。其主要特點(diǎn)如下
SE 400adv不僅能測量單晶硅樣片，還能測量多晶硅樣片；（我們可提供真實(shí)樣片測試報(bào)告供參考，用戶也可提供樣片、我們幫助測量）
SE 400adv能測量實(shí)際工藝線生產(chǎn)的產(chǎn)品、即粗糙表面的“絨片”（如Textured Silicon），這是業(yè)界唯一的；對(duì)拋光片的測量精度、準(zhǔn)確度也是業(yè)界第一；
（我們可提供真實(shí)樣片測試報(bào)告供參考，用戶也可提供樣片、我們幫助測量）
SE 400adv 配有高靈敏度、低噪聲探測器，特別適用于對(duì)太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強(qiáng)進(jìn)行測量；
SE 400adv 可對(duì)太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(shù)（偏振因數(shù)）進(jìn)行測量和評(píng)估，提高測量精度；
SE 400adv 配置有高穩(wěn)定度補(bǔ)償器，保證了Psi角度的測量范圍為0-90°、Delta角度的測量范圍為0-360°；此外補(bǔ)償器可減小環(huán)境溫度變化帶來的影響，即使Delta為0度仍可提供最小的漂移值和最小的測量誤差；
SE 400adv 配置有高精度的自動(dòng)光學(xué)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡（ACT），使載物臺(tái)的高度、傾斜度調(diào)整精度、靈敏度達(dá)到最高；配置有計(jì)算機(jī)控制分析器等精密光學(xué)組件，保證測量的精度；
SE 400adv 可進(jìn)行40°－90°范圍內(nèi)的多角度測量；
SENTECH 與其中國總代理北京東方中科集成科技有限公司，在國內(nèi)設(shè)有技術(shù)服務(wù)中心，工程師都通過在德國原廠培訓(xùn)、具備很強(qiáng)的技術(shù)能力和豐富的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，能為用戶提供完善的售前技術(shù)支持、設(shè)備安裝調(diào)試、現(xiàn)場使用與維護(hù)培訓(xùn)、售后保修維修、應(yīng)用答疑等服務(wù)；
提供中文操作手冊(cè)；
規(guī)格:
• 激光波長632.8 nm
• 150 mm (z-tilt) 載物臺(tái)
• 入射角度可調(diào)，步進(jìn)5º
• 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)鏡/顯微鏡，用于樣品校準(zhǔn)
SE 400advanced軟件特征:
• 預(yù)先定義應(yīng)用
• 多角度測量
• 廣泛的材料數(shù)據(jù)庫
• 擬合狀況的圖形反饋
• 支持多種語言
基本技術(shù)指標(biāo)：
ψ, Δ精度， 90° 入射角:
δ(ψ)=0.002°, δ(Δ)=0.002°
長時(shí)穩(wěn)定性2):
δ(ψ)=±0.1°, δ(Δ)=±0.1°
膜厚精度1)
0.1Å,對(duì)100nm單晶硅片上的SiO2薄膜標(biāo)準(zhǔn)樣片；
折射率精度1)
5×10-4對(duì)100nm單晶硅片上的SiO2薄膜標(biāo)準(zhǔn)樣片；
1) 精度定義為30次測量的標(biāo)準(zhǔn)差
2) 長時(shí)穩(wěn)定性定義為24小時(shí)內(nèi)90°位置測量的偏差
選項(xiàng)
•手動(dòng)（自動(dòng)）x-y方向移動(dòng)載物臺(tái)，行程150 mm
•地貌圖 選項(xiàng) (x-y方向, 最大行程200 mm, 帶有真空吸附接口)
•攝象頭選項(xiàng)，用于取代目鏡進(jìn)行樣品對(duì)準(zhǔn)
•反射式膜厚儀FTPadvanced，光斑直徑80微米（可適用于光滑透明襯底上 •模擬軟件
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