捷歐路JEOL TP 系列高頻感應等離子體發(fā)生器通過高頻感應加熱產(chǎn)生大約1萬度的熱等離子體,經(jīng)過物理/化學反應過程,能合成納米顆粒及厚膜(鍍膜)。
捷歐路JEOL TP 系列高頻感應等離子體發(fā)生器原理・特征:在大氣壓或者接近大氣壓的低氣壓環(huán)境下,將高頻電源集中于局部,通過電磁感應使各種氣體在瞬間變成1萬度左右的超高溫等離子體。熱等離子體屬于電弧放電,往等離子體中充入原料(粉末、氣體或液體),經(jīng)過蒸發(fā)、熔融、分解、化學反應等,能進行納米顆粒的合成、微細粉末的球化及反應、鍍膜、有害氣體的分解等。
與直流(DC)電弧放電相比能獲得大容積的等離子體。氣體流速比直流(DC)等離子體相比要慢10倍,原料可以被充分地加熱、反應。由于沒有電極,也就沒有電極材料的污染,整個過程非常純凈。具有氧化性、還原性、腐蝕性的各種氣體都可以使用。超出了機械粉粹的能力,能將顆粒微細化到納米級。由于能夠利用等離子體中的原子、離子、激發(fā)態(tài)分子和自由基等高能量化學物種的反應,有望用來合成新物質(zhì)、新材料。高頻振蕩器對高頻感應等離子體負載具備最適合的匹配電路及控制性能,能充分地應對異常放電,電源效率業(yè)界領先。