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日立 H-9500 透射電子顯微鏡

名稱:光學(xué)測(cè)試儀器

品牌:

型號(hào):

簡(jiǎn)介:原子分辨率300kV透射電子顯微鏡在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級(jí)水平的半導(dǎo)體,先進(jìn)材料的研發(fā)領(lǐng)域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,不可或缺的工具。為了滿足這種高端需求,日立高新技術(shù)公司研發(fā)出了H -9500透射電子顯微鏡,此款高分辨...

  • 產(chǎn)品介紹

原子分辨率300kV透射電子顯微鏡在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級(jí)水平的半導(dǎo)體,先進(jìn)材料的研發(fā)領(lǐng)域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,不可或缺的工具。為了滿足這種高端需求,日立高新技術(shù)公司研發(fā)出了H -9500透射電子顯微鏡,此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實(shí)地驗(yàn)證過的各種優(yōu)秀性能,而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨(dú)特功能,并采用了最新的數(shù)字技術(shù),便于用戶及時(shí)快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信息。

原子分辨率300kV透射電子顯微鏡
在精細(xì)加工技術(shù)已進(jìn)入到亞納米級(jí)水平的半導(dǎo)體,先進(jìn)材料的研發(fā)領(lǐng)域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,不可或缺的工具。為了滿足這種高端需求,日立高新技術(shù)公司研發(fā)出了H -9500透射電子顯微鏡,此款高分辨透射電子顯微鏡不僅具備實(shí)地驗(yàn)證過的各種優(yōu)秀性能,而且配置了很多滿足客戶多種需求的獨(dú)特功能,并采用了最新的數(shù)字技術(shù),便于用戶及時(shí)快速獲取原子水平的樣品結(jié)構(gòu)信息。
備注:FPD(平板顯示器)上的圖像為模擬圖像。
(*):Windows®是微軟公司在美國(guó)及其他國(guó)家所注冊(cè)的商標(biāo)。


分辨率 0.10nm(晶格分辨率)
0.18nm(點(diǎn)分辨率)
加速電壓 300kV, 200kV(*1), 100kV(*1)
放大倍率 連續(xù)放大模式 1,000 - 1,500,000×
選區(qū)模式 4,000 - 500,000×
低倍模式 200 - 500×
電子槍 燈絲 LaB6(六硼化鑭燈絲,直流加熱)
燈絲交換 自動(dòng)升降式電子槍
高壓電纜 阻抗電纜
照射系統(tǒng) 透鏡 四級(jí)透鏡
聚光鏡光闌 4孔可變
探針尺寸 微米束模式:0.05 - 0.2µm(4級(jí))
納米束模式:1 - 10nm(4級(jí))
電子束傾斜 ±3°
成像系統(tǒng) 透鏡 五級(jí)透鏡
聚焦 圖像搖擺調(diào)整
利用像散監(jiān)視器進(jìn)行正焦補(bǔ)償
聚焦優(yōu)化
物鏡光闌 4孔可變光闌
選區(qū)光闌 4孔可變光闌
電子衍射   選區(qū)電子衍射
納米探針電子衍射
會(huì)聚束電子衍射
相機(jī)長(zhǎng)度 250 - 3,000mm
樣品室 樣品臺(tái) 5軸優(yōu)中心海帕測(cè)角臺(tái)
樣品尺寸 3mmΦ
樣品位置追蹤 X/Y = ±1mm, Z = ±0.3mm
通過CPU控制馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
樣品位置顯示 自動(dòng)驅(qū)動(dòng),自動(dòng)跟蹤
樣品傾斜 α = ±15°, β = ±15°
(日立雙傾樣品臺(tái)(*2)
防污染 冷阱
烘烤功能 中溫烘烤功能
觀察室 熒光屏 主屏:110mmΦ
聚焦屏:30mmΦ
目鏡 7.5×
照相室 區(qū)域選擇 整張照相/半張曝光
膠片 25張(2套膠片盒)
圖形用戶界面   操作系統(tǒng):Windows XP®(*3)
顯示器 19英寸顯示器
功能 數(shù)據(jù)庫,測(cè)量,圖像處理
數(shù)碼CCD 相機(jī)(*4) 相機(jī)耦合 透鏡耦合
有效像素 1,024 × 1,024 像素
A/D 分辨率 12 位
真空系統(tǒng) 電子槍 離子泵:60L/s
鏡筒 渦輪分子泵:260L/s
觀察室/照相室 擴(kuò)散泵:280L/s
前級(jí)泵:135L/min × 3 臺(tái)

(*1):放大倍率校準(zhǔn)為可選項(xiàng)
(*2):可選件
(*3):Windows XP是微軟公司在美國(guó)和其他國(guó)家的注冊(cè)商標(biāo)
(*4):本規(guī)格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數(shù)碼CCD相機(jī)
以上規(guī)格是在加速電壓為300kV時(shí)的承諾

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